[发明专利]整理盘、研磨垫整理器及研磨装置有效
| 申请号： | 201210143486.5 | 申请日： | 2012-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN103386649A | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 唐强;李佩 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B37/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明还公开了一种整理盘、研磨垫整理器以及研磨装置，该整理盘包括整理盘本体，还包括一中心齿轮、三个研磨盘以及三个小齿轮，所述整理盘本体具有一内齿圈，所述中心齿轮位于所述内齿圈内并和所述内齿圈同心设置，所述三个小齿轮均匀分布于所述中心齿轮和所述内齿圈组成的区域内，且所述三个小齿轮分别与所述中心齿轮和所述内齿圈啮合，所述研磨盘分别设置于对应的小齿轮的工作表面上。本发明可以在每个研磨盘直径有限的前提下，通过增加研磨盘的数量可以增大整理器的整理总面积，进而可以提高研磨垫整理效率和改善研磨效果，此对于大面积的研磨垫具有更显著的意义。 | ||
| 搜索关键词： | 整理 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种整理盘，包括整理盘本体，其特征在于，还包括一中心齿轮、三个研磨盘以及三个小齿轮，所述整理盘本体具有一内齿圈，所述中心齿轮位于所述内齿圈内并和所述内齿圈同心设置，所述三个小齿轮均匀分布于所述中心齿轮和所述内齿圈组成的区域内，且所述三个小齿轮分别与所述中心齿轮和所述内齿圈啮合，所述研磨盘分别设置于对应的小齿轮的工作表面上。
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