[发明专利]金属用研磨液及其应用有效
| 申请号： | 201210144194.3 | 申请日： | 2008-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN102690607A | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 天野仓仁;樱田刚史;安西创;筱田隆;野部茂 | 申请（专利权）人： | 日立化成工业株式会社 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C09K3/14;H01L21/321 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;金鲜英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种金属用研磨液及其应用。所述金属用研磨液含有研磨粒、氧化金属溶解剂、有机溶剂和水，所述研磨粒包括平均2次粒径为5～39nm的第一研磨粒和平均2次粒径为40～300nm的第二研磨粒，所述金属用研磨液的pH为2～5。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 研磨 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种金属用研磨液，其特征在于，含有研磨粒、氧化金属溶解剂、有机溶剂和水，所述研磨粒包括平均2次粒径为5～39nm的第一研磨粒和平均2次粒径为40～300nm的第二研磨粒，所述金属用研磨液的pH为2～5。
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