[发明专利]一种直拉硅单晶的装料方法及其装置

摘要

本发明涉及一种直拉硅单晶的装料方法及其装置。直拉硅单晶的装料方法包括装料前准备、装料、合盖和抽真空、装入拉晶炉与拆石英坩埚盖和合炉步骤；装料所用的装置包括石英坩埚、石英坩埚盖、环形密封圈和装料车。装料时，将所述石英坩埚置于装料车上，在装好多晶硅料和母合金后，将所述环形密封圈放在石英坩埚口上，然后盖好石英坩埚盖，再连接抽气泵抽真空并吊装石英坩埚。采用本发明，使直拉硅单晶装料工艺可单独在洁净房内进行，避免了多晶硅料装载过程中的污染，改善了装料的工作环境，降低了装料的劳动强度，并且使装料工艺与拆炉、清扫热场能同时进行，大大缩短了拆装炉时间，提高了生产效率与拉晶炉利用率，降低硅单晶的生产成本。

主权项

一种直拉硅单晶的装料方法，其特征在于，包括以下具体实施步骤：⑴装料前准备：将称好重量的多晶硅料和母合金、石英坩埚（2）、装料车（1）以及抽气泵移入100级洁净风淋室内；⑵装料：在操作人员拆炉打扫热场的同时，另一组操作人员穿戴好洁净服具进入洁净风淋室，拆开石英坩埚（2）的外包装，把其放到装料车（1）上，再按工艺要求把多晶硅料和母合金装入石英坩埚（2）内；⑶合盖、抽真空：用无尘布将石英坩埚（2）口擦拭干净后，将环形密封圈放在石英坩埚（2）口上，盖好石英坩埚盖（3），用抽气泵连接石英坩埚盖（3）上的气孔（5）抽真空，按装料重量抽至气压表（7）显示为‑0.01~‑0.1MPa后，关闭阀门（4），断开抽气泵与气孔（5）的连接；⑷装入拉晶炉：将装料车（1）推到清扫完毕的拉晶炉边，用小型起吊设备勾住石英坩埚盖（3）上的吊环（6），吊起石英坩埚（2）并移到石墨坩埚上方，对准后慢慢将石英坩埚（2）放入石墨坩埚内；⑸拆石英坩埚盖（3）、合炉：检查石英坩埚（2）放置正中、平稳后，打开阀门（4）使石英坩埚（2）内压强恢复到大气压强，移走石英坩埚盖（3），合炉完毕。