[发明专利]多晶硅回蚀溶液及其用途有效
| 申请号： | 201210149344.X | 申请日： | 2012-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN102677060A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 沈专;林佳继;黄路遥;戴燕华;朱琛;赵同荣 | 申请（专利权）人： | 韩华新能源（启东）有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/32 | 分类号： | C23F1/32 |
| 代理公司： | 南通市永通专利事务所 32100 | 代理人： | 葛雷 |
| 地址： | 226200 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅回蚀溶液，由氢氧化钠、次氯酸钠、硅酸钠、有机酸或有机醇及余量的水组成。本发明不改变多晶硅片表面的颜色。从扫描电镜中观察，回蚀后的绒面形貌与回蚀前几乎没有差别。将扩散后的多晶硅片浸泡于回蚀溶液中，使得低薄层电阻的硅片被回蚀到高薄层电阻，且高薄层电阻的均匀性在90%以上。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 硅回蚀 溶液 及其 用途 | ||
【主权项】：
一种多晶硅回蚀溶液，其特征是：由下列体积百分比的成分混合组成：氢氧化钠 0.03%~0.5% 次氯酸钠 0.02%~0.5%硅酸钠 0.01%~0.5% 有机酸或有机醇 0.005%~0.1%余量为水。
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