[发明专利]校准表面结构测量装置的方法

摘要

校准表面结构测量装置的方法，包括：获取Y轴形状测量数据和最大直径部分，以从当向下的和向上的触针分别与参考球的上和下表面接触时通过在Y轴方向上相对移动而获取的Y轴上部和下部形状数据来获取参考球的上部和下部最大直径部分；获取X轴形状测量数据，从而当向下的触针与参考球的上部直径部分接触以及向上的触针与参考球的下部直径部分接触时，通过相对地在X轴方向移动来获取参考球的X轴上部和下部形状数据；以及由形状数据获取的中心坐标O3和O4计算向上的和向下的触针的偏移量Δx和Δz。

主权项

校准表面结构测量装置的方法，该装置具有：具有以旋转轴作为支撑点在垂直方向上可摇摆地支撑的测量臂的检测器，向上的触针和向下的触针，每个触针都装备在该测量臂的端部并且在该测量臂的摇摆方向上伸出，以及检测该测量臂的摇摆量的检测单元；承载被测物体的平台；以及相对地移动该检测器和平台的相对移动驱动器，该方法包括：获取第一轴形状测量数据，通过：当该向下的触针与参考球的上表面接触时在第一轴方向上相对地移动该检测器和平台以获取第一轴上部形状测量数据；以及当该向上的触针与该参考球的下表面接触时在该第一轴方向上相对地移动该检测器和平台以获取第一轴下部形状测量数据；以及基于从该第一轴上部形状测量数据获取的第一中心坐标和从该第一轴下部形状测量数据获取的第二中心坐标计算该向上的触针和向下的触针的偏移量。