[发明专利]带有感应晶圆花篮功能的起吊装置无效
| 申请号： | 201210151538.3 | 申请日： | 2012-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN102659021A | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 卡尔·罗伯特·休斯特 | 申请（专利权）人： | 硅密（常州）电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B66C1/22 | 分类号： | B66C1/22;B66C1/40 |
| 代理公司： | 常州市科谊专利代理事务所 32225 | 代理人： | 孙彬 |
| 地址： | 213031 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带有感应晶圆花篮功能的起吊装置，包括机械手吊钩和花篮承载筐，机械手吊钩的两侧均设置有至少两个以上的钩部，花篮承载筐上设置有与钩部相配的凸起部，至少一个钩部内固定有传感器，相应的凸起部内固定有与传感器相配的感应块。本发明结构简单，并且非常实用，通过控制单元便能实现自动化控制，并且可以检测到是否钩住晶圆花篮，做到防止挂空、挂偏等误动作的发生，不需要操作人员随时检查，降低了人工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 感应 花篮 功能 起吊 装置 | ||
【主权项】：
一种带有感应晶圆花篮功能的起吊装置，包括机械手吊钩（1）和花篮承载筐（2），机械手吊钩（1）的两侧均设置有至少两个以上的钩部（1‑1），花篮承载筐（2）上设置有与钩部（1‑1）相配的凸起部（2‑1），其特征在于：至少一个钩部（1‑1）内固定有传感器（3），相应的凸起部（2‑1）内固定有与传感器（3）相配的感应块（4）。
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