[发明专利]一种可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备有效
| 申请号： | 201210152181.0 | 申请日： | 2012-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN103422059A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 姜翠宁 | 申请（专利权）人： | 深圳市正星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备，该可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备由箱体、基片架、加热器、导杆、传动轮、上横梁、下横梁构成，所述加热器位于箱体两侧真空室壁上，没有靶位的地方均设有加热器，加热器的数量是常规设计的1.5倍，且加热器采用分段式，这样可以提高加热效率，而且可以分段控制温度，能够更好的保证玻璃受热均匀，最主要的是解决了现有技术无法完成基板两面同时镀膜的缺陷，降低了双面膜产品的生产成本尺寸，提高了生产效率和产品的良率，其设计思路具有领先地位。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 同时 实现 玻璃 基板单 双面 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
一种可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备，其特征在于：该可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备由箱体(1)、基片架(2)、加热器(3)、导杆(4)、传动轮(5)、上横梁(6)、下横梁(7)构成，所述加热器(3)位于箱体(1)两侧真空室壁上，没有靶位的地方均设有加热器(3)，加热器(3)的数量是常规设计的1.5倍，且加热器(3)采用分段式，这样可以提高加热效率，而且可以分段控制温度，能够更好的保证玻璃受热均匀。
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