[发明专利]一种双探测生化传感检测仪的传感芯片及其制备方法

摘要

本发明公开了一种双探测生化传感检测仪的传感芯片及其制备方法。本发明的包括K*L陈列的传感芯片单元，传感芯片单元包括：衬底以及与其键合在一起的上片；形成在上片内构成微流通道的进口、出口及微腔；形成在衬底上并处于微腔内的m*n阵列的纳米颗粒；其中，m、n、K和L为自然数。本发明的传感芯片为多单元、阵列结构，与微流控技术相结合，实现微流控光学传感系统的集成。本传感芯片采用低成本的纳米加工技术，可实现大面积加工；并且可重复性好、制备方法简单，可以实现所需样品少，实时观测，多通道、多参数并行测试、原位SERS和LSPR的测试。

主权项

一种传感芯片，其特征在于，所述传感芯片包括K*L陈列的传感芯片单元，传感芯片单元包括：衬底（31）以及与其键合在一起的上片（32）；形成在上片（32）内构成微流通道的进口、出口（33）及微腔（34）；形成在衬底上并处于微腔内的m*n阵列的纳米颗粒（35）；其中，m、n、K和L为自然数。