[发明专利]12杆二维无耦合微位移工作台无效
申请号: | 201210152255.0 | 申请日: | 2012-05-17 |
公开(公告)号: | CN102637462A | 公开(公告)日: | 2012-08-15 |
发明(设计)人: | 沈健;陈东;张海岩 | 申请(专利权)人: | 合肥工业大学 |
主分类号: | G12B3/00 | 分类号: | G12B3/00;G12B9/10 |
代理公司: | 合肥金安专利事务所 34114 | 代理人: | 金惠贞 |
地址: | 230009 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明涉及12杆二维无耦合微位移工作台。该工作台包括基板、外层柔性铰链杆、驱动支座、电致伸缩器件、内层柔性铰链杆、工作台,四根均布的内层柔性铰链杆一端连接工作台,另一端连接驱动支座,驱动支座通过外层柔性铰链杆连接到基板上,驱动支座与基板凹槽之间设有电致伸缩器件,电致伸缩器件的一端顶在驱动支座的外端,另一端顶紧凹槽的侧壁。本发明采用12根柔性铰链杆形成双层柔性铰链杆对称一体化结构,整体采用线切割加工方法一次切割完成,无装配元件,可实现输出位移与输入位移成正比的独立、无耦合一维或者二维运动,具有分辨率高、结构紧凑的特点,可用于大行程、轻载的微机电系统、扫描探测显微镜、超精密加工、光学元件制造等领域。 | ||
搜索关键词: | 12 二维 耦合 位移 工作台 | ||
【主权项】:
12杆二维无耦合微位移工作台,其特征在于:包括基板(1),所述基板(1)中部设有贯通的空腔,所述空腔中部设有工作台(6),工作台(6)的周边分别均布连接着四根内层柔性铰链杆(5)的一端,每根内层柔性铰链杆(5)的另一端连接着驱动支座(3)的内端,且其中两根内层柔性铰链杆(5)沿X方向对称分布,另两根内层柔性铰链杆(5)沿Y方向对称分布;每个驱动支座(3)的两侧分别连接着外层柔性铰链杆(2)的一端,两侧的外层柔性铰链杆(2)的另一端分别连接着基板(1)上空腔的侧壁,两侧的外层柔性铰链杆(2)在同一直线上,且垂直于驱动支座(3)内端的内层柔性铰链杆(5);与每个驱动支座(3)外端对应的所述空腔的侧壁上分别设有凹槽(7),所述空腔的侧壁上共有四个凹槽(7),其中相邻的两个凹槽(7)内分别设有电致伸缩器件(4),电致伸缩器件(4)的一端与驱动支座(3)的外端接触,另一端与凹槽(7)的侧壁接触。
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