[发明专利]膜厚仪

摘要

一种用于测量晶圆上薄膜厚度的膜厚仪，该膜厚仪的光束调整箱与晶圆承载台一侧设有气流产生器，该气流产生器能够在光束调整箱与晶圆承载台之间产生气流，从而将晶圆挥发的气体吹走，避免或者减少晶圆挥发的气体进入光束调整箱，光束调整箱内的镜片不易受到污染，因此该膜厚仪的测量结果不易受到影响，测量精度较高。

主权项

一种用于测量晶圆上薄膜厚度的膜厚仪，所述膜厚仪包括产生测量光束的测量光束产生器、光学系统、处理装置及承载所述测量光束产生器、光学系统、处理装置的承载机架，所述光学系统将测量光束产生器产生的测量光束传导至晶圆上的薄膜，并将经晶圆上的薄膜反射的测量光束传导至处理装置，所述处理装置对光学系统传来的光束处理后计算出晶圆上薄膜的厚度，所述承载机架上设有晶圆承载台，所述光学系统包括光束调整箱，所述光束调整箱设置于所述晶圆承载台的上方并与所述晶圆承载台之间形成空隙，其特征在于，所述晶圆承载台的一侧设有气流产生器，所述气流产生器导引气体通过所述光束调整箱与所述晶圆承载台之间的空隙。