[发明专利]一种硅片直线交换装置及方法有效
| 申请号： | 201210153116.X | 申请日： | 2012-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN103424991A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 王邵玉;田耀杰;姜杰;黄春霞 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及光刻设备领域，尤其涉及一种硅片直线交换装置及方法，用于在工作台和外部装置之间传输物料，包括导轨；设置于所述导轨之上的第一滑块、第二滑块，所述第一、第二滑块能够沿所述导轨作交错往复运动；第一机械臂，所述第一机械臂通过机械臂转接件连接所述第一滑块；以及第二机械臂，所述第二机械臂连接所述第二滑块，所述第一机械臂、第二机械臂处于两个不同的相互平行的运动平面。本发明采用避障设计，使所述第一、第二机械臂在两个相互平行的平面内运动，实现两组机械臂对开，当第一机械臂与工作台交接硅片时，第二机械臂同时与机械手进行硅片交接，以上交接完成后，两组机械臂同时反向运动，进行下一交接，减少一半的运动交接时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 直线 交换 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种硅片直线交换装置，用于在工作台和外部装置之间传输物料，其特征在于，包括导轨；设置于所述导轨之上的第一滑块、第二滑块，所述第一、第二滑块能够沿所述导轨作交错往复运动；第一机械臂，所述第一机械臂通过机械臂转接件连接所述第一滑块；以及第二机械臂，所述第二机械臂连接所述第二滑块，所述第一机械臂、第二机械臂处于两个不同的相互平行的运动平面。
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