[发明专利]真空吸盘式对位系统在审

专利信息
申请号: 201210154719.1 申请日: 2012-05-17
公开(公告)号: CN102683505A 公开(公告)日: 2012-09-19
发明(设计)人: 郭业祥;杨顺先;邓小明;刘惠森 申请(专利权)人: 东莞宏威数码机械有限公司
主分类号: H01L31/20 分类号: H01L31/20;H01L21/68
代理公司: 广州三环专利代理有限公司 44202 代理人: 张艳美;郝传鑫
地址: 523000 广东省东莞市南城*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开一种真空吸盘式对位系统,其固定平台装置、旋转平台装置上均开设有气孔,对位调节装置包括X轴调节机构、Y轴调节机构及Z轴调节机构,旋转平台装置沿X轴方向滑动地连接于X轴调节机构的上端,X轴调节机构的下端沿Y轴方向滑动地连接于Y轴调节机构的上端,Y轴调节机构的下端固定于Z轴调节机构上,Z轴调节机构沿Z轴方向活动地连接于底座上;通过抽真空系统将工件吸附于固定平台装置、旋转平台装置上,固定工件方便快捷,不需装夹避免损坏工件表面;对位调节装置可高效地调节X轴、Y轴、Z轴方向的位置,旋转平台装置可绕Z轴旋转,调节方便快捷,精确实现不同高度且非接触的两工件的对位,采用CCD对位装置,对位精度高且操作方便。
搜索关键词: 真空 吸盘 对位 系统
【主权项】:
一种真空吸盘式对位系统,适用于对非接触的两工件进行对位,其特征在于:包括对位装置、固定平台装置、旋转平台装置、对位调节装置及底座,所述对位调节装置连接于所述底座上,所述旋转平台装置连接于所述对位调节装置的上方,所述固定平台装置设置于所述旋转平台装置的一侧,并与所述旋转平台装置相对应,所述对位装置设置于所述固定平台装置的上方,且所述固定平台装置、旋转平台装置上均开设有气孔并与抽真空系统连接,其中所述对位调节装置包括X轴调节机构、Y轴调节机构及Z轴调节机构,所述旋转平台装置滑动地连接于所述X轴调节机构的上端,并可沿X轴方向水平滑动,所述X轴调节机构的下端滑动地连接于所述Y轴调节机构的上端,并可沿Y轴方向水平滑动,所述Y轴调节机构的下端固定于所述Z轴调节机构上,且所述Z轴调节机构活动地连接于所述底座上,并可相对所述底座沿Z轴方向运动。
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