[发明专利]全透明阻变存储器及锡酸钡在做为透明的具有稳定阻变特性材料方面的应用无效

专利信息
申请号: 201210155959.3 申请日: 2012-05-18
公开(公告)号: CN102709472A 公开(公告)日: 2012-10-03
发明(设计)人: 张婷;马文海;张伟风;魏凌;孙健 申请(专利权)人: 河南大学
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00
代理公司: 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 代理人: 牛爱周
地址: 475004*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明公开了一种全透明阻变存储器及锡酸钡在做为透明的具有稳定阻变特性材料方面的应用,属于半导体非挥发性存储器技术领域。本发明的阻变材料为宽禁带半导体透明氧化物锡酸钡(BaSnO3)薄膜,所述阻变存储器由下电极、设于所述下电极上的阻变存储层和沉积于所述阻变存储层上的上电极组成;所述上电极和下电极为氧化铟锡透明导电薄膜、氟掺杂氧化铟透明导电薄膜;所述阻变存储层为锡酸钡(BaSnO3)薄膜。本发明提供的透明有机阻变存储器具有透光性好、存储密度高和稳定性好等优点,具有广阔的应用前景。
搜索关键词: 透明 存储器 锡酸钡 做为 具有 稳定 特性 材料 方面 应用
【主权项】:
锡酸钡在做为透明的具有稳定阻变特性材料方面的应用。
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