[发明专利]含双酚A骨架结构的分子玻璃光刻胶及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201210156675.6 | 申请日： | 2012-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN103304385A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 杨国强;许箭;陈力;王双青;李沙瑜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院化学研究所 |
| 主分类号： | C07C43/205 | 分类号： | C07C43/205;C07C41/30;C07C39/15;C07C37/055;C07C69/96;C07C68/06;C07C43/21;C07C39/17;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/16;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391 | 代理人： | 康正德;范晓斌 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明涉及一系列基于双酚A为主体结构的分子玻璃光刻胶（I和II）及其制备。将该分子玻璃光刻胶与光酸产生剂、交联剂、光刻胶溶剂和其他添加剂复配成正性或负性光刻胶，在硅片上通过旋涂法可制得厚度均匀的光刻胶涂层。该光刻胶配方可用于248nm光刻、193nm光刻、极紫外光刻、纳米压印光刻及电子束光刻等现代光刻技术中，尤其适合使用于极紫外（EUV）光刻工艺中。 |
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| 搜索关键词： | 含双酚 骨架 结构 分子 玻璃 光刻 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.通式（I）或（II）的化合物，![]()
其中X独立的选自H、C1-8烷基、-COOC1-8烷基、![]()
R独立的选自H、-OH、-OC1-8烷基、-OCOOC1-8烷基、![]()
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