[发明专利]半导体装置无效
申请号: | 201210159543.9 | 申请日: | 2012-05-22 |
公开(公告)号: | CN102800635A | 公开(公告)日: | 2012-11-28 |
发明(设计)人: | 金谷康;塚原良洋 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | H01L23/34 | 分类号: | H01L23/34 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 闫小龙;王忠忠 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的目的在于得到一种能够有效地进行散热的半导体装置。在主体芯片(1)的表面设置有电路图案(4),该电路图案(4)具有源极焊盘(5)。在盖芯片(2)的表面设置有凹部(11),在背面设置有凹部(12)。盖芯片(2)以使凹部(11)与电路图案(4)对置的方式与主体芯片(1)接合。在盖芯片(2)的凹部(11)的底面设置有焊盘(13)。在盖芯片(2)的凹部(12)中填充有金属构件(14)。贯通电极(15)贯通盖芯片(2),连接焊盘(13)和金属构件(14)。凸起(16)连接源极焊盘(5)与焊盘(13)。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
一种半导体装置,其特征在于,具备:主体芯片;电路图案,设置在所述主体芯片的表面,并且具有第一焊盘;盖芯片,在表面设置有第一凹部,在背面设置有第二凹部,以使所述第一凹部与所述电路图案对置的方式与所述主体芯片接合;第二焊盘,设置在所述盖芯片的所述第一凹部的底面;第一金属构件,填充于所述盖芯片的所述第二凹部;第一贯通电极,贯通所述盖芯片,连接所述第二焊盘和所述第一金属构件;以及凸起,连接所述第一焊盘和所述第二焊盘。
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