[发明专利]一种自供电压力传感器

摘要

本发明提供了一种自供电压力传感器，包括第一感应电极、第二感应电极和居间薄膜，第一感应电极包括一侧表面设置有导电薄膜的第一高分子聚合物绝缘层；第二感应电极包括一侧表面设置有导电薄膜的第二高分子聚合物绝缘层，另一侧表面固定有居间薄膜，居间薄膜的非固定面设有微纳凹凸结构；第二感应电极上居间薄膜微纳凹凸结构的表面与第一电极未设置导电薄膜的表面正对贴合而相互固定连接；所述第一感应电极上的导电薄膜与第二感应电极上的导电薄膜均为感应信号输出极。本发明提供了一种利用摩擦起电原理而巧妙制成的自供电压力传感器，它具有高灵敏度、制备简单且低成本，使用稳定性好、响应速度快等特点。

主权项

一种自供电压力传感器，其特征在于，包括第一感应电极、第二感应电极和居间薄膜，所述第一感应电极包括一侧表面设置有导电薄膜的第一高分子聚合物绝缘层；所述第二感应电极包括一侧表面设置有导电薄膜的第二高分子聚合物绝缘层；所述居间薄膜为第三高分子聚合物绝缘层，且其一侧表面设有微纳凹凸结构；所述居间薄膜未设置微纳凹凸结构的表面固定在未设置导电薄膜的第二高分子聚合物绝缘层的表面上，与所述第二感应电极形成一体；所述第二感应电极上居间薄膜微纳凹凸结构的表面与所述第一感应电极未设置导电薄膜的表面正对贴合而相互固定连接；所述第一感应电极上的导电薄膜和第二感应电极上的导电薄膜均为感应信号输出极。