[发明专利]一种利用化学腐蚀和化学镀的双参数测量光纤光栅传感器无效
| 申请号： | 201210160268.2 | 申请日： | 2012-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN102680134A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 周倩;宁提纲;李超;张婵;刘艳;谭中伟 | 申请（专利权）人： | 北京交通大学 |
| 主分类号： | G01K11/32 | 分类号： | G01K11/32;G01L1/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100044 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种利用化学腐蚀和化学镀的双参数测量光纤光栅传感器，适用于光纤传感。其特征在于：该传感器是由相位掩膜法制成的光纤布拉格光栅，它被均匀分成两部分，光纤布拉格光栅的左半部分（1）被氢氟酸溶液腐蚀直径变细，并在左半部分上镀上一层金属（2），光纤布拉格光栅的右半部分（3）保持不变。该传感器的制作步骤为：采用相位掩模板法制作光纤布拉格光栅；将布拉格光栅左半部分放入氢氟酸溶液中腐蚀；在腐蚀后的光纤布拉格光栅表面吸附一层易氧化物质；在腐蚀后的光纤布拉格光栅表面生成一层薄金属层；对腐蚀后的光纤布拉格光栅进行化学镀金属。该传感器结构简单，容易制作；温度和应力传感灵敏度得到了提升；可以实现双参数的同时测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 化学 腐蚀 参数 测量 光纤 光栅 传感器 | ||
【主权项】：
一种利用化学腐蚀和化学镀的双参数测量光纤光栅传感器，其特征在于：该光纤光栅传感器是由相位掩膜法制成的光纤布拉格光栅，它被均匀分成两部分，光纤布拉格光栅的左半部分（1）被氢氟酸溶液腐蚀直径变细，并在左半部分（1）上镀上一层金属保护膜（2），光纤布拉格光栅的右半部分（3）保持不变作为参考光纤光栅。
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