[发明专利]薄膜晶体管及其制造方法

摘要

一种薄膜晶体管及其制造方法，薄膜晶体管包括在基板上形成栅极，在栅极上形成绝缘层，然后在绝缘层上形成通道层。再来，在通道层上形成第一材料层，其中第一材料层包括含氧的绝缘材料。然后，在第一材料层上形成第二材料层，其中第二材料层包括金属材料。之后，在第二材料层以及第一材料层中形成多个接触窗开口，以暴露出通道层。然后，在第二材料层上形成源极以及漏极，其中源极以及漏极通过接触窗开口而与通道层接触。

主权项

一种薄膜晶体管的制造方法，其特征在于，包括：在一基板上形成一栅极；在该栅极上形成一绝缘层；在该绝缘层上形成一通道层；在该通道层上形成一第一材料层，该第一材料层包括一含氧的绝缘材料；在该第一材料层上形成一第二材料层，该第二材料层包括一金属材料；在该第二材料层以及该第一材料层中形成多个接触窗开口，以暴露出该通道层；以及在该第二材料层上形成一源极以及一漏极，该源极以及该漏极通过这些接触窗开口而与该通道层接触。