[发明专利]质量流控制器监视有效
| 申请号： | 201210163894.7 | 申请日： | 2012-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN102798441B | 公开（公告）日： | 2017-09-15 |
| 发明（设计）人： | S·琼斯;宋一平 | 申请（专利权）人： | SPTS技术有限公司 |
| 主分类号： | G01F25/00 | 分类号： | G01F25/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 侯海燕 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种监视连接到压力腔室的用于向处于不受抽吸状态的所述腔室供气的质量流控制器（MFC）的方法，包括周期地切换所述MFC以为测试时段创建连续的填充周期以及在所述测试时段期间间隔地测量所述腔室压力，其特征在于，所述MFC的总切换时间为所述填充周期的至少10%，以及所述方法包括获得压力测量结果的平均值并把它们与历史数据比较以判断所述MFC是否正常运转。 | ||
| 搜索关键词： | 质量 控制器 监视 | ||
【主权项】：
一种监视连接到压力腔室的用于向处于不受抽吸状态的所述腔室供气的质量流控制器的方法，包括：周期地切换所述质量流控制器以为测试时段创建连续填充周期；以及在所述测试时段期间，间隔地测量腔室压力；其特征在于，所述质量流控制器的总切换时间为所述填充周期时间的至少10％，以及所述方法包括获得压力测量结果的平均值并把它们与历史数据比较以判断所述质量流控制器是否正常运转。
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