[发明专利]一种像方标记承载装置及制造该承载装置的方法有效
| 申请号： | 201210164215.8 | 申请日： | 2012-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN103424994A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 朱婧怡 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种像方标记承载装置，其特征在于，该承载装置包括第一层板与第二层板，该第一层板位于该第二层板的上方，该承载装置包括第一类型标记与第二类型标记，该第一类型标记位于该第一层板上，该第二层板在对应该第一类型标记之处设置一开口。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 标记 承载 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种像方标记承载装置，其特征在于，所述承载装置包括第一层板与第二层板，所述第一层板位于所述第二层板的上方，所述承载装置包括第一类型标记与第二类型标记，所述第一类型标记位于所述第一层板上，所述第二层板在对应所述第一类型标记之处设置一开口。
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