[发明专利]用于清洗衬底的方法有效
| 申请号： | 201210164517.5 | 申请日： | 2006-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN102688867A | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | J·M·德拉里奥斯;M·拉夫金;J·法伯;M·科罗利克;F·C·雷德克尔 | 申请（专利权）人： | 兰姆研究有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B3/00;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 谭佐晞;杨国治 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了一种用于清洗衬底的方法。在该方法中，提供了非牛顿流体流，其中至少部分流呈现栓塞流。为了从衬底表面去除颗粒，放置衬底表面与呈现栓塞流的流部分接触以使呈现栓塞流的流部分在衬底表面上移动。也描述了用于清洗衬底的另外的方法和装置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 清洗 衬底 方法 | ||
【主权项】：
一种用于清洗衬底的方法，包括：以非牛顿流体填充腔室，该腔室具有输入端和输出端；在输入端将衬底引入到腔室中，并且将悬浮的衬底悬浮在非牛顿流体中；关闭到输入端的通道；以及迫使另外非牛顿流体进入腔室，从而非牛顿流体的流在衬底的表面移动并且非牛顿流体在输出端流出。
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