[发明专利]一种基于激光干涉诱导反应的晶体硅制绒工艺

摘要

本发明属于太阳电池技术领域，具体公开基于激光干涉诱导反应的晶体硅制绒工艺。其具体步骤是：（1）腐蚀处理：硅片通过腐蚀去除表面的机械损伤；（2）将硅片放入室温的一定浓度的碱性溶液中；（3）通过激光局部加热浸泡在强碱溶液中的晶体硅片：（4）形成绒面：用干涉激光扫描整个硅片，直到硅片表面形成均匀的绒面。该制绒工艺不需要太高功率的激光器，节约能源和加工成本；而且其工艺是被控制在光斑以内而对其他位置的硅片影响很小；此外，其制作过程简便快捷；在制绒过程中不会产生有毒气体，避免了对工人的身体健康和环境带来的不利影响；其能大大提升工艺过程的速度，具有很好的产业化前景；能极大地提高电池的效率。

主权项

一种基于激光干涉诱导反应的晶体硅制绒工艺，其具体步骤是：（1）腐蚀处理：硅片通过腐蚀去除表面的机械损伤；（2）将硅片放入室温的一定浓度的碱性溶液中；（3）通过激光局部加热浸泡在强碱溶液中的晶体硅片从而发生化学反应：选择合适的激光波长、脉冲频率、激光功率，将激光光束进行均匀化处理，通过分光镜或光栅形成干涉图样；（4）形成绒面：用干涉激光扫描整个硅片，直到硅片表面形成均匀的绒面。