[发明专利]一种小口径光学元件抛光方法及装置

摘要

本发明公开了一种小口径光学元件抛光方法及装置，属于超精密光学抛光加工技术领域，工件待加工面上方固定一个和待加工面形状吻合的带有槽路的限流块，工件绕自身回转轴旋转，利用微细磨粒流体在槽路形成柔性循环抛光带并对工件面进行加工。利用压强差与流体吸出的方式，增强微细磨粒流体的流动性、滑擦性；复合轴对称旋转曲面工件的超声振动，增强微细磨粒对工件的撞击与剪切效果，从而加强材料去除率，高效率地获得高质量的表面，实现表面无损伤的微量去除特点。它适用于各种回转对称光学元件的曲面超精密抛光加工，对于自动化加工有较高的实用价值。

主权项

一种小口径光学元件抛光装置，包括一旋转平台（4），其特征是，所述旋转平台（4）上装有用于上下振动轴对称旋转曲面工件（21）的超声波振动系统（2），所述轴对称旋转曲面工件（21）装在该超声波振动系统（2）的上端，该轴对称旋转曲面工件（21）上方设有限制微细磨粒流体（37）流量的限流块（1）；所述限流块（1）一侧设有负压槽（31），该限流块（1）另一侧设有高压槽（36），所述高压槽（36）通过循环管道（33）与储存微细磨粒流体（37）的储液器（34）的一端连通；所述储液器（34）的另一端通过循环管道（33）与负压槽（31）连通；所述高压槽（36）与储液器（34）之间设有压入泵（35）；所述负压槽（31）与储液器（34）之间设有吸出泵（32）；所述限流块（1）和轴对称旋转曲面工件（21）之间设有连通高压槽（36）和负压槽（31）的抛光槽（14）。