[发明专利]一种多晶硅炉有效
申请号: | 201210169843.5 | 申请日: | 2012-05-28 |
公开(公告)号: | CN102703976A | 公开(公告)日: | 2012-10-03 |
发明(设计)人: | 符寒光;蒋志强;冯锡兰;刘建伟;魏永强 | 申请(专利权)人: | 北京工业大学 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06;C22C38/54 |
代理公司: | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人: | 张慧 |
地址: | 100124 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种多晶硅炉,属于加多晶硅炉技术领域,包括耐热钢、六钛酸钾晶须隔热砖、加热装置、Al2O3耐火砖、坩埚和钢板组成,多晶硅炉的炉身的外壳为钢板,在钢板内层贴有六钛酸钾晶须隔热砖层,在隔热砖层内层还有Al2O3耐火砖层,并将坩埚置于多晶硅炉Al2O3耐火砖层构成的空腔内,在坩埚和Al2O3耐火砖层之间的空间内放置加热装置,在多晶硅炉的上方还设置了一个取料盖,取料盖是将六钛酸钾晶须隔热砖镶嵌在耐热钢中,直接盖在节能多晶硅炉的炉身上。采用本发明多晶硅炉制备多晶硅,具有良好的节能效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 | ||
【主权项】:
一种多晶硅炉,其特征在于,包括耐热钢、六钛酸钾晶须隔热砖、加热装置、Al2O3耐火砖、坩埚和钢板组成,多晶硅炉的炉身的外壳为钢板,在钢板内层贴有六钛酸钾晶须隔热砖层,在隔热砖层内层还有Al2O3耐火砖层,并将坩埚置于多晶硅炉Al2O3耐火砖层构成的空腔内,在坩埚和Al2O3耐火砖层之间的空间内放置加热装置,在多晶硅炉的上方还设置了一个取料盖,取料盖是将六钛酸钾晶须隔热砖镶嵌在耐热钢中,直接盖在节能多晶硅炉的炉身上。
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