[发明专利]一种电子级三氯氢硅纯度评价装置有效
| 申请号： | 201210170915.8 | 申请日： | 2012-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN103454377A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 刘柏年;王秉琳;刘刚;马波;武春青;李学峰;李春松 | 申请（专利权）人： | 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00;C01B33/035 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 62002 | 代理人： | 李艳华 |
| 地址： | 810006 青海省*** | 国省代码： | 青海;63 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种电子级三氯氢硅纯度评价装置，该装置包括底盘及置于所述底盘上的带有冷却水夹套的钟罩、置于所述带有冷却水夹套的钟罩内的钽丝和穿过所述底盘且连有电源的一对电极。所述带有冷却水夹套的钟罩的顶部分别设有吊耳、钟罩冷却水出水口，其侧壁分别设有钟罩冷却水进水口、视镜；所述一对电极通过所述钽丝连接在一起；所述一对电极的外侧分别设有反应气体进气管口、反应气体出气管口，该反应气体进气管口和反应气体出气管口穿过所述底盘与所述带有冷却水夹套的钟罩腔体相通。本发明结构简单、成本低廉，可以达到快速、准确测纯的目的，并实现了安全操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 级三氯氢硅 纯度 评价 装置 | ||
【主权项】：
一种电子级三氯氢硅纯度评价装置，其特征在于：该装置包括底盘（6）及置于所述底盘（6）上的带有冷却水夹套的钟罩（3）、置于所述带有冷却水夹套的钟罩（3）内的钽丝（5）和穿过所述底盘（6）且连有电源的一对电极（8）；所述带有冷却水夹套的钟罩（3）的顶部分别设有吊耳（1）、钟罩冷却水出水口（2），其侧壁分别设有钟罩冷却水进水口（10）、视镜（11）；所述一对电极（8）通过所述钽丝（5）连接在一起；所述一对电极（8）的外侧分别设有反应气体进气管口（7）、反应气体出气管口（9），该进反应气体气管口（7）和反应气体出气管口（9）穿过所述底盘（6）与所述带有冷却水夹套的钟罩（3）腔体相通。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司，未经青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210170915.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
