[发明专利]非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁系统及清洁方法无效
| 申请号： | 201210171470.5 | 申请日： | 2012-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN102698996A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 何文;俞远高;徐娜;成惠峰;孙大会 | 申请（专利权）人： | 圣睿太阳能科技（镇江）有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/22 | 分类号： | B08B9/22 |
| 代理公司： | 镇江京科专利商标代理有限公司 32107 | 代理人： | 夏哲华 |
| 地址： | 212132 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁系统及清洁方法。其系统包括有一个清洁箱，太阳能电池PECVD基片装载箱可安置在清洁箱上部，所述清洁箱的底部设置有杂质收集斗；所述清洁箱通过蒸汽管道与蒸汽发生装置连接，并可对清洁箱内进行蒸汽熏蒸；清洁箱上还设置有安装有泄压阀的排汽口；该系统还包括有一个可对熏蒸后的非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱进行加热干燥的烘箱。本发明可以对装载箱进行蒸汽熏蒸、冷却、烘箱加热烘干、再冷却的交替处理，使附着在装载箱内壁的杂质形态因外部条件的交替变化而发生变形，从而自然剥落，简化了清洁过程、提高了清洁效率、改善了清洁效果。 | ||
| 搜索关键词： | 非晶硅 薄膜 太阳能电池 pecvd 装载 清洁 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁系统，其特征是：它包括有一个清洁箱（1），清洁箱（1）的底部设置有杂质收集斗（16）；清洁箱（1）通过蒸汽管道（3）与蒸汽发生装置（4）连接，并可对清洁箱内进行蒸汽熏蒸；清洁箱上还设置有安装有泄压阀（11）的排汽口（12）；该系统还包括有一个可对熏蒸后的非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱进行加热干燥的烘箱。
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