[发明专利]光敏化合物梯度光刻胶有效
| 申请号： | 201210171596.2 | 申请日： | 2012-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN102903629A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 余振华;刘重希;郭宏瑞 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/312 | 分类号： | H01L21/312;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;孙征 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了用于在半导体衬底的上方形成光刻胶的系统和方法。一个实施例包括具有浓度梯度的光刻胶。可通过使用一系列干膜光刻胶来形成浓度梯度，其中，每个独立的干膜光刻胶均具有不同浓度。各个干膜光刻胶可以独立形成，然后在图样化之前被放置到半导体衬底上。一旦被图样化，穿过光刻胶的开口可具有楔形侧壁，从而允许晶种层更好的覆盖和更均匀的工艺来形成穿过光刻胶的导电材料。 | ||
| 搜索关键词： | 光敏 化合物 梯度 光刻 | ||
【主权项】：
一种半导体器件，包括：衬底；以及光刻胶，位于所述衬底的上方，所述光刻胶包括光敏化合物，所述光敏化合物随着所述光刻胶远离所述衬底延伸而具有浓度梯度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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