[发明专利]用于光配向工艺的曝光设备和制造液晶显示器的方法有效
| 申请号： | 201210171808.7 | 申请日： | 2012-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN102830592A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 赵秀连;李准宇;金坰兑;廉周锡;姜锡训;金恩珠 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02F1/1337 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张波 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供用于光配向工艺的曝光设备和制造液晶显示器的方法。一种用于光配向工艺的曝光设备包括：第一光掩模，包括多个透射部分；及第二光掩模，包括多个透射部分，其中第一光掩模和第二光掩模彼此部分重叠，使得第一光掩模和第二光掩模的每个包括重叠区域和非重叠区域，第一光掩模的重叠区域和第二光掩模的重叠区域的至少之一包括至少两个子区域，且透射部分的形状或布置在至少两个子区域中彼此不同。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 工艺 曝光 设备 制造 液晶显示器 方法 | ||
【主权项】：
一种曝光设备，用于光配向工艺，所述曝光设备包括：第一光掩模，包括多个透射部分；及第二光掩模，包括多个透射部分，其中所述第一光掩模和所述第二光掩模彼此部分重叠，使得所述第一光掩模和所述第二光掩模的每个包括重叠区域和非重叠区域，所述第一光掩模的所述重叠区域和所述第二光掩模的所述重叠区域的至少之一包括至少两个子区域，且所述透射部分的形状或布置在所述至少两个子区域中彼此不同。
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