[发明专利]一种焦面探测器精密热控机构

摘要

本发明涉及一种焦面探测器精密热控机构，包括真空箱体、制冷组件、冷屏组件、加热组件以及温度采集单元，还包括设置在真空箱体的外侧以及加热组件外侧的隔热层，制冷组件包括制冷器基板、至少一个探测器制冷器、至少一个冷屏制冷器、热管组件以及散热板。本发明解决了现有传统的光电探测器热控机构主要依靠被动散热方式进行温度控制，很难实现不同工作模式下的温度快速变化的技术问题，采用主动制冷和主动加热相结合的方式，通过对热控系统结构的合理设计，不仅能够使探测器温度迅速变化以满足不同工作模式下的温度需求，而且能够对温度范围进行精密控制，同时系统工作可靠性高。

主权项

一种焦面探测器精密热控机构，其特征在于：包括真空箱体（1）、制冷组件、冷屏组件、加热组件以及温度采集单元，还包括设置在真空箱体（1）的外侧以及加热组件外侧的隔热层（12），所述制冷组件包括制冷器基板（5）、至少一个探测器制冷器（8）、至少一个冷屏制冷器（9）、热管组件（6）以及散热板（7），所述加热组件包括基板薄膜加热器（10）以及热管薄膜加热器（11）以，所述冷屏组件（3）包括冷屏罩（31）、冷屏底板（32）及窗口玻璃（33），所述窗口玻璃（33）设置在冷屏罩（31）上，所述冷屏底板（32）与冷屏罩（31）密封连接形成冷屏空腔（15），所述真空外壳（1）与制冷器基板（5）固定密封连接形成密闭空腔（16），所述冷屛组件设置在密闭空腔（16）内，探测器（4）封装于冷屏组件（3）中，所述加热组件设置在制冷器基板（5）底部，所述冷屏制冷器（9）和探测器制冷器（8）均设置在制冷器基板（5）的上部，所述冷屛组件（3）通过冷屏底板（32）设置在冷屏制冷器（9）上，所述探测器制冷器（8）的另一端穿过冷屏底板（32）且伸入至冷屏空腔（15），所述探测器制冷器（8）设置在探测器（4）的底部，探测器（4）的上部为感光面，所述基板薄膜加热器（10）设置在制冷器基板（5）的底部，所述热管组件的蒸发端（61）的上部固定在制冷器基板（5）的底部，所述热管组件的蒸发端（61）的底部设置有热管薄膜加热器(11)，所述热管组件的冷凝端(62)固定在散热板(7)上，所述温度采集单元包括设置在冷屏空腔(15)内的至少一个温度传感器(13)、设置在密闭空腔(16)内的至少一个温度传感器(13)，设置在探测器(4)的上部的温度传感器(13)。