[发明专利]滑动装置和采用该滑动装置的滑动系统

摘要

在滑动装置（10）中，第一基础构件（11）和第二基础构件（12）相对于彼此滑动。将硬碳膜（13）设置在所述第一基础构件（11）的第一表面（11a）和与所述第一基础构件（11）的第一表面（11a）相对的第二基础构件（12）的第二表面（12a）中的至少一个表面上。此外，将中间层（14）设置在所述硬碳膜（13）与所述第一基础构件（11）的第一表面（11a）和所述第二基础构件（12）的第二表面（12）中的所述一个表面之间。所述中间层（14）由含有硅和氧的化合物构成。

主权项

一种滑动装置，包括：具有第一表面（11a）的第一基础构件（11）；具有第二表面（12a）的第二基础构件（12），所述第二表面（12a）与所述第一表面（11a）相对，所述第一基础构件（11）和所述第二基础构件（12）相对于彼此滑动；设置在所述第一基础构件（11）的所述第一表面（11a）和所述第二基础构件（12）的所述第二表面（12a）中的至少一个表面上的硬碳膜（13）；以及设置在所述硬碳膜（13）与所述第一基础构件（11）的所述第一表面（11a）和所述第二基础构件（12）的所述第二表面（12a）中的所述一个表面之间的中间层（14），所述中间层（14）由含有硅和氧的化合物构成。