[发明专利]热辅助磁头检查方法及其装置

摘要

在热辅助磁头元件检查方法及其装置中，将样品装载到能在扫描探针显微镜装置的平面内移动的工作台上，使样品的近场光发光部产生近场光，通过在使具有探针的扫描探针显微镜的悬臂在样品表面附近上下振动的状态下使工作台在平面内移动，检测近场光引起的散射光，使用基于检测出的散射光的近场光的产生位置信息，检测从样品的近场光发光部发出的近场光的强度分布或者近场光发光部的表面形状。

主权项

一种热辅助磁头元件检查装置，用于对热辅助磁头元件进行检查，其特征在于具备：工作台单元，装载作为样品的热辅助磁头元件并能够在平面内移动；悬臂，具备扫描在该工作台单元上装载的样品的表面的探针；振动驱动单元，使该悬臂相对于所述样品的表面在上下方向振动；位移检测单元，向通过该振动驱动单元进行振动的所述悬臂的与形成有所述探针的一侧相反侧的面照射光并检测来自所述悬臂的反射光，来检测所述悬臂的振动；信号输出单元，输出用于使所述热辅助磁头元件的近场光发光部产生近场光的信号；散射光检测单元，当所述悬臂的探针进入了根据该信号输出单元输出的信号从所述热辅助磁头元件的所述近场光发光部产生的近场光的产生区域内时，检测从所述悬臂的表面产生的散射光；以及处理单元，使用装载有所述样品的工作台单元的位置信息和由所述散射光检测单元检测所述散射光得到的信号，来判定从所述热辅助磁头元件的所述近场光发光部产生的近场光的产生状态是否良好。