[发明专利]直接光驱动扫描微镜有效
| 申请号： | 201210180066.4 | 申请日： | 2012-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN102662235A | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 徐英舜 | 申请（专利权）人： | 凝辉(天津)科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;B81B7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300384 天津市高新区华*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种直接光驱动扫描微镜，它包括微驱动器、平面弹簧、可动镜片和微透镜。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连，平面弹簧的输出端与可动镜片的输入端相连，微透镜的输出端与微驱动器的输入端相连；每个器件包括1个可动镜片、2个平面弹簧、2个微驱动器和1个微透镜，可动镜片与2个平面弹簧相连，每个平面弹簧与1个微驱动器相连；本发明采用硅微加工技术制成，可由入射激光中的特定波长驱动激光直接驱动镜片完成扫描，从而免除传统的电气连接相关的引线键合工序，结构简单，成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 直接 驱动 扫描 | ||
【主权项】：
一种直接光驱动扫描微镜，其特征在于：它包括微驱动器、平面弹簧、可动镜片和微透镜。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连，平面弹簧的输出端与可动镜片的输入端相连，微透镜的输出端与微驱动器的输入端相连；每个器件包括1个可动镜片、2个平面弹簧、2个微驱动器和1个微透镜，可动镜片与2个平面弹簧相连，每个平面弹簧与1个微驱动器相连。
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