[发明专利]振动元件及其制造方法、振子、电子装置及电子设备

摘要

本发明提供一种振动元件及其制造方法、振子、电子装置及电子设备，所述振动元件为基波且高频、小型，主振动的CI值较小，从而寄生响应的CI值比较大。压电振动元件(1)具备：压电基板(10)，其具有薄壁的振动区域(12)、及沿着振动区域(12)的除一条边之外的三条边而被一体化的厚壁部；激励电极(25a、25b)，其分别被配置在振动区域(12)的表面及背面；引线电极(27a、27b)。厚壁部具备：隔着振动区域(12)而对置配置的第一厚壁部(14)和第二厚壁部(16)、以及连接设置在第一厚壁部和第二厚壁部的基端部之间的第三厚壁部(18)。第二厚壁部(16)具备：与振动区域(12)的一条边连接设置的倾斜部(16b)、与倾斜部(16b)的另一条边连接设置的厚壁的第二厚壁部主体(16a)、和至少一个应力缓和用的狭缝(20)。

主权项

一种压电振动元件，其特征在于，具备：压电基板，其包括振动区域、及与所述振动区域一体化且比所述振动区域的厚度厚的厚壁部；激励电极，其分别被配置在所述振动区域的表面和背面；引线电极，其以从所述激励电极延伸至所述厚壁部上的方式而设置，所述厚壁部以将所述振动区域的一部分开放的方式而具备：第一厚壁部和第二厚壁部，其隔着所述振动区域而配置；第三厚壁部，其连接设置在该第一厚壁部和该第二厚壁部的基端部之间，所述第二厚壁部具备：倾斜部，其厚度随着从与所述振动区域连接设置的一侧端缘朝向另一侧端缘离开而增加；厚壁主体，其与所述倾斜部的所述另一侧端缘连接设置，在所述第二厚壁部上设置有狭缝。