[发明专利]调整MEMS陀螺仪以减小热变偏移无效
| 申请号： | 201210181898.8 | 申请日： | 2012-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN102768038A | 公开（公告）日： | 2012-11-07 |
| 发明（设计）人： | R·苏皮诺;H·B·弗伦奇 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01C19/5776 | 分类号： | G01C19/5776 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 谢攀;李浩 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及调整MEMS陀螺仪以减小热变偏移。提供了一种用于校准微机电系统(MEMS)振动结构陀螺仪的方法。该方法包括获得至少一个检测质块相对于至少一个驱动电极的位置的指示，以及根据所述指示，向至少一个检测质块施加静电力，所述静电力被配置为将至少一个检测质块定位在相对于至少一个驱动电极的第一位置。 | ||
| 搜索关键词： | 调整 mems 陀螺仪 减小 偏移 | ||
【主权项】：
一种用于校准微机电系统(MEMS)振动结构陀螺仪的方法，该方法包括：获得至少一个检测质块相对于至少一个驱动电极的位置的指示；以及根据所述指示，向所述至少一个检测质块施加静电力，所述静电力被配置为将所述至少一个检测质块定位在相对于所述至少一个驱动电极的第一位置。
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