[发明专利]微纳热电偶探针的制备装置有效
| 申请号： | 201210182762.9 | 申请日： | 2012-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN102738380A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 顾宁;柏婷婷;陈超;高恒 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01L35/34 | 分类号： | H01L35/34;G01K7/02 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 夏雪 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微纳热电偶探针的制备装置，包括：上部开口的箱体、滑槽、操纵杆、机械爪、电化学腐蚀模块、洗涤干燥模块和绝缘层包覆模块，所述箱体的上部设有一滑槽，操纵杆在滑槽上可以水平移动，操纵杆与机械爪固定连接，所述电化学腐蚀模块、洗涤干燥模块和绝缘层包覆模块依次设置在箱体的底部上。本发明可以自动制备用于微纳环境测温的热电偶，简化了微纳热电偶制备的繁琐流程，同时避免了制备过程中的人为失误，通过量化实验参数，大大增加了成功率。 | ||
| 搜索关键词： | 热电偶 探针 制备 装置 | ||
【主权项】：
一种微纳热电偶探针的制备装置，包括：上部开口的箱体、滑槽、操纵杆、机械爪、电化学腐蚀模块、洗涤干燥模块和绝缘层包覆模块，所述箱体的上部设有一滑槽，操纵杆与滑槽可滑动的连接，操纵杆与机械爪固定连接，所述电化学腐蚀模块、洗涤干燥模块和绝缘层包覆模块依次设置在箱体的底部上。
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