[发明专利]一种曲面金属图形的制作方法和曲面金属图形基板有效

专利信息
申请号: 201210183312.1 申请日: 2012-06-05
公开(公告)号: CN103313520A 公开(公告)日: 2013-09-18
发明(设计)人: 刘若鹏;赵治亚;寇超锋;谢滔 申请(专利权)人: 深圳光启创新技术有限公司
主分类号: H05K3/06 分类号: H05K3/06;H05K1/02
代理公司: 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 代理人: 何青瓦
地址: 518034 广东省深圳市福田*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种曲面金属图形的制作方法和曲面图形基板。该曲面金属图形的制作方法包括:对曲面载体表面进行金属镀膜,以使曲面载体表面形成金属层;在金属层上形成抗蚀膜,其中抗蚀膜遇光照射后固化;将具有预设图案的曲面光罩与抗蚀膜贴合,并对其曝光,以固化未被曲面光罩遮盖的抗蚀膜;移除曲面光罩,然后对抗蚀膜进行清洗,以移除未固化的抗蚀膜;对金属层进行刻蚀,去除未固化的抗蚀膜所对应的金属层,以形成与预设图案相对应的曲面金属图形。本发明通过对曲面载体镀铜以形成金属层,并在金属层表面涂布抗蚀膜,继而对其进行曝光、刻蚀、显影,形成所需金属图形。本发明由于在异型三维曲面上制作精密金属线图案,从而可实现异型三维曲面线路印制以及超材料的制作。
搜索关键词: 一种 曲面 金属 图形 制作方法
【主权项】:
一种曲面金属图形的制作方法,其特征在于,包括:对曲面载体表面进行金属镀膜,以使所述曲面载体表面形成金属层;在所述金属层上形成抗蚀膜,其中所述抗蚀膜遇光照射后固化;将具有预设图案的曲面光罩与所述抗蚀膜贴合,并对所述抗蚀膜进行曝光,以固化未被所述曲面光罩遮盖的所述抗蚀膜;移除所述曲面光罩,然后对所述抗蚀膜进行清洗,以移除未固化的所述抗蚀膜;对所述金属层进行刻蚀,去除未固化的所述抗蚀膜所对应的金属层,以形成与所述预设图案相对应的所述曲面金属图形。
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