[发明专利]一种提高快速Id-Vg测试精度的测试系统无效
| 申请号： | 201210184203.1 | 申请日： | 2012-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN102692593A | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 王晨;卢红亮;孙清清;周鹏;王鹏飞;张卫 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于晶体管可靠性测试技术领域，具体为一种提高快速Id-Vg测试精度的测试系统，其特征在于：在原Id-Vg测试系统中，将原有的高频探针上添加一个50Ω的片状电阻，组成一个高频信号加载探针；在原有的电源探针上添加一个10μF的片状电容器，组成一个新的电源探针。本发明系统可用于高性能低功耗MOSFETs晶体管中精确快速的Id-Vg测试，本发明操作简单、几乎零成本，但是效果显著，测试精确，适用于高电流性能MOSFETs晶体管上高介电常数栅介质可靠性方面的研究。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 快速 sub 测试 精度 系统 | ||
【主权项】：
一种提高快速Id‑Vg测试精度的测试系统，其特征在于：在原Id‑Vg测试系统中，将原有的高频探针上添加一个50 Ω的片状电阻，组成一个高频信号加载探针；在原有的电源探针上添加一个10 μF的片状电容器，组成一个新的电源探针。
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