[发明专利]具有多磁层及中间双成核膜的垂直磁记录盘

摘要

本发明涉及垂直磁记录盘，其具有由至少两个铁磁交换耦合的CoPtCr氧化物磁层（MAG1和MAG2）形成的分级各向异性记录层（RL），两个成核层（NF1和NF2）位于磁层之间。NF1是在低压于MAG1上溅射沉积至约0.1-1.5nm厚的金属膜，优选地为Ru或基于Ru的合金如RuCr。NF2是在高压于NF1上溅射沉积至约0.2-1.0nm厚的金属氧化物膜，优选地为Ta的氧化物。MAG2溅射沉积在NF2上。与没有MAG1和MAG2之间的成核膜的分级各向异性RL相比，NF1和NF2提供了RL中平均晶粒尺寸的显著减小，同时也确保MAG1和MAG2强地交换耦合。

主权项

一种垂直磁记录盘，包括：衬底；在所述衬底上的导磁材料的衬层；非磁中间层，位于所述衬层上并包括选自Ru和Ru合金的材料；垂直磁记录层，包括：第一磁层，包括在所述非磁中间层上的颗粒铁磁合金，该颗粒铁磁合金包括Co、Pt和Cr、以及Si、Ta、Ti、Nb和B中的一种或多种的一种或多种的氧化物；在所述第一磁层上的第一成核膜，包括从Ru和基于Ru的合金选出的材料，并具有大于或等于0.1nm且小于或等于1.5nm的厚度；在所述第一成核膜上的第二成核膜，包括从由Ta、Nb、Ti、Si、Mn和Hf组成的组选出的元素的一种或多种氧化物，并具有大于或等于0.2nm且小于或等于1.0nm的厚度；及在所述第二成核膜上的颗粒铁磁合金的第二磁层，该颗粒铁磁合金包括Co、Pt和Cr、以及Si、Ta、Ti、Nb和B中的一种或多种的一种或多种的氧化物，其中所述第二磁层具有大于所述第一磁层的各向异性场的各向异性场。