[发明专利]LED芯片键合方法及LED芯片有效
申请号: | 201210186840.2 | 申请日: | 2012-06-06 |
公开(公告)号: | CN102694089A | 公开(公告)日: | 2012-09-26 |
发明(设计)人: | 封飞飞;张昊翔;金豫浙;万远涛;李东昇;江忠永 | 申请(专利权)人: | 杭州士兰明芯科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;B23K35/26 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 郑玮 |
地址: | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种LED芯片键合方法及LED芯片,其中,所述LED芯片键合方法包括:提供衬底,所述衬底上顺次形成有外延层、欧姆接触层、第一粘结层、第一钎料阻挡层及第一键合层;提供基板,所述基板上顺次形成有第二粘结层、第二钎料阻挡层及第二键合层;在第一键合层表面和/或第二键合层表面形成钎料层,所述钎料层的材料为金属或者合金;将所述衬底与基板贴合,其中,所述钎料层的表面为贴合面,直至所述钎料层完全扩散至所述第一键合层及第二键合层。通过避免Au-Au固相扩散键合或Au-Sn共晶键合,即避免或减少了贵金属的使用,从而降低了LED芯片制造成本。 | ||
搜索关键词: | led 芯片 方法 | ||
【主权项】:
一种LED芯片键合方法,其特征在于,包括:提供衬底,所述衬底上顺次形成有外延层、欧姆接触层、第一粘结层、第一钎料阻挡层及第一键合层;提供基板,所述基板上顺次形成有第二粘结层、第二钎料阻挡层及第二键合层;在第一键合层表面和/或第二键合层表面形成钎料层,所述钎料层的材料为金属或者合金;将所述衬底与基板贴合,其中,所述钎料层的表面为贴合面,直至所述钎料层完全扩散至所述第一键合层及第二键合层。
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