[发明专利]盐、光致抗蚀剂组合物及用于制备光致抗蚀剂图案的方法无效
| 申请号： | 201210186846.X | 申请日： | 2012-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN102816097A | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 增山达郎;向井优一 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | C07C381/12 | 分类号： | C07C381/12;C07C309/10;C07C303/32;C07D321/10;G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 贺卫国 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明提供盐、光致抗蚀剂组合物及用于制备光致抗蚀剂图案的方法。本发明公开一种由式(I)表示的盐，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，A1表示C1-C30一价有机基团，X1表示其中氢原子可以被羟基代替的C1-C10脂族烃基，m1和m2各自独立地表示1至4的整数，以及Z+表示有机阳离子。 |
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| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 组合 用于 制备 图案 方法 | ||
【主权项】：
1.一种由式(I)表示的盐：![]()
其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，A1表示C1-C30一价有机基团，X1表示其中氢原子可以被羟基代替的C1-C10脂族烃基，m1和m2各自独立地表示1至4的整数，以及Z+表示有机阳离子。
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