[发明专利]具有控制装置的蒸镀装置无效
| 申请号： | 201210186855.9 | 申请日： | 2008-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN102719794A | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 生田浩之;吹上纪明 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李伟;舒艳君 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有控制装置的蒸镀装置，蒸镀装置（100）利用在蒸镀源（110）中气化后的成膜材料对基板（G）进行成膜处理，控制装置（700）的存储部（710）存储表示成膜速度与载气流量之间的关系的多个表格。表格选择部（750）基于工艺条件，从存储于存储部（710）中的多个表格中选择期望的表格。成膜控制器（200）基于从用于检测成膜材料的气化速度的QCM（180）中输出的信号，求出在基板G上的成膜速度。载气调整部（760）使用存储于存储部（710）中的表格所示的表示成膜速度与载气流量的关系的数据，与利用成膜控制器（200）求出的成膜速度与作为目标的成膜速度的偏差对应地，为了获得期望的成膜速度而调整载气流量。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种具有控制装置的蒸镀装置，该蒸镀装置利用载气输送在蒸镀源中气化后的成膜材料，利用所输送的成膜材料在期望的真空状态下对被处理体进行成膜处理，该蒸镀装置的控制装置具有：存储部，其存储表示成膜速度与载气流量之间的关系的表格；成膜速度运算部，其基于从用于检测成膜速度的第一传感器中输出的信号，求出在被处理体上的成膜速度；及载气调整部，其使用存储于所述存储部中的表格所示的表示成膜速度与载气流量的关系的数据，基于利用所述成膜速度运算部求出的成膜速度与作为目标的成膜速度，为了获得期望的成膜速度而调整载气的流量。
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