[发明专利]直写式光刻系统中的图像灰度数据的压缩方法

摘要

本发明涉及一种在直写式光刻系统中的图像灰度数据的压缩方法，以图像行格式压缩，每次检查1×N灰度图数据，以计算机识别的长度bit位数为单位，每个单位数由标示数和计数值构成，标示数用以说明压缩的全白或者全黑或者相同灰度数据，计数值用以说明相同的计数，其它灰度数据则不进行压缩。本发明的压缩方法在压缩后的数据不会增加，压缩比适中，压缩与解压缩的速度快。

主权项

一种在直写式光刻系统中的图像灰度数据的压缩方法，其特征在于，以图像行格式压缩，每次检查1×N灰度图数据，以计算机识别的长度bit位数为单位，每个单位数由标示数和计数值构成，标示数用以说明压缩的全白或者全黑或者相同灰度数据，计数值用以说明相同灰度数据的计数，其它灰度数据则不进行压缩；具体包括以下步骤：假设N=4；计算机识别的长度bit位数=16bit；(1)读取一行灰度图数据，建立压缩缓冲区；(2)压缩入行起始标准HEX数为0xE1E0；(3)取出1×4灰度图数据，保存，计数cnt清零；(4)全白检测，是计数cnt加1，重复取出1×4灰度图数据作全白检测，直至不是全白或者计数cnt大于15，则压缩入0xF1F0+cnt；(5)全黑检测，是计数cnt加1，重复取出1×4灰度图数据作全黑检测，直至不是全黑或者计数cnt大于15，则压缩入0xF1E0+cnt；(6)对灰度数据的高12bit依次进行检查，是0xF1F或者是0xF1E或者是0xE1F或者是0xE1E0，则设置标示数sing为0x0100，否则标示数sing为0x0000；(7)把读取到的灰度数据与上一个保存的灰度数据比较，不同转下一个步骤；相同则计数cnt加1，重复取出1×4灰度图数据作相同检测，直至是不相同或者计数cnt大于15，则保存的数据先与标示数sing求异或后压入，再压缩入0xE1F0+cnt；(8)压缩入保存的数据先与标示数sing求异或的数；(9)重复步骤（3）～（8），直至一行灰度数据检查完；(10)一行灰度数据压缩完毕，依次向下扫描压缩图像数据，重复步骤（1）～（9），直至全部图像数据压缩完。