[发明专利]光刻机运动台反力抵消装置及应用其的光刻机

摘要

本发明公开了一种光刻机运动台反力抵消装置及应用其的光刻机。光刻机运动台反力抵消装置包括反力框架、配重块、阻尼元件以及弹性元件。配重块设置于光刻机运动台电机定子的一端。阻尼元件一端连接于电机定子的一端，另一端连接于反力框架。弹性元件设置于电机定子的两端。电机定子设置在滑块上，滑块设置在运动台大理石之上的固定直线导轨上，滑块带动电机定子沿固定直线导轨做直线运动。当电机定子与滑块、配重块一起在电机驱动反力作用下沿导轨做直线运动时，电机定子将会沿反力方向运动，其动能在配重块与阻尼元件的作用下逐渐衰减。本发明公开的光刻机运动台反力抵消装置缓冲行程小，并可达到衰减运动台反力的效果。

主权项

一种光刻机运动台反力抵消装置，其特征是，包括：反力框架，设置于光刻机基础框架上；配重块，设置于光刻机运动台电机定子的一端；阻尼元件，其一端连接于所述电机定子的一端，另一端连接于所述反力框架；以及弹性元件，一端连接于所述的电机定子，另一端连接于所述反力框架；所述弹性元件设置在所述电机定子的两端；所述电机定子设置在滑块上，所述滑块设置在运动台大理石之上的固定直线导轨上，所述滑块带动所述电机定子沿所述固定直线导轨做直线运动；其中当所述电机定子与所述滑块、所述配重块一起在电机驱动反力作用下沿所述固定直线导轨做直线运动时，所述电机定子与所述滑块、所述配重块的动能在所述配重块与所述阻尼元件的作用下逐渐衰减，在所述电机定子停止运动后，所述电机定子在所述弹性元件的作用下回复至初始位置。