[发明专利]硅片处理过程中产生的废硅料的清洗方法

摘要

本发明公开了一种硅片处理过程中产生的废硅料的清洗方法。该方法包括以下步骤：1）将待清洗的废硅料放入混合酸液中浸泡，然后用纯水漂洗；2）将经过混合酸液浸泡的废硅料放入碱液中浸泡，然后用纯水漂洗；3）将废硅料放入盐酸溶液中浸泡，然后用纯水漂洗、烘干，其中，混合酸液是电池制备过程产生的废弃酸液。应用本发明的技术方案，既能有效地彻底清除废硅料表面及嵌入较深的杂质，又不会造成硅料损失，由于大多的杂质是通过酸蚀或碱蚀去除的，不需要人工打磨，所以工作效率提高。另外，混合酸液是电池制备过程中废弃的酸液，不仅节约了成本，还为废水处理、减排降耗做出了贡献。

主权项

一种硅片处理过程中产生的废硅料的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：1）将待清洗的废硅料放入混合酸液中浸泡，然后用纯水漂洗；2）将经过混合酸液浸泡的所述废硅料放入碱液中浸泡，然后用纯水漂洗；3）将所述废硅料放入盐酸溶液中浸泡，然后用纯水漂洗、烘干，其中，所述混合酸液是电池制备过程产生的废弃酸液。