[发明专利]一种光学检测装置与光学检测方法有效
| 申请号： | 201210190037.6 | 申请日： | 2012-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN102854189A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 周明澔;刘羿辰;谢志永;蔡振扬 | 申请（专利权）人： | 旺矽科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 史霞 |
| 地址： | 中国台湾新竹县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光学检测装置与一种光学检测方法，此光学检测装置包括一加载器、一缓冲台、多个检测台、与一机械手臂，加载器包括一储存柜与一取放台，该储存柜储存有多个待检测的被检测物件。其中，加载器可将储存柜中的被检测对象加载至取放台或将取放台上的被检测对象加载至储存柜中。机械手臂用以使被检测对象于取放台、缓冲台、与各检测台之间移动。此外，上述的被检测对象例如为LED晶圆。本发明可增加光学检测的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种光学检测装置，其特征在于，包括：一加载器，该加载器包括一储存柜与一取放台，该储存柜储存有多个被检测对象；一缓冲台；多个检测台，所述的检测台是用以检测所述的被检测对象；及一机械手臂；其中，该加载器可将该储存柜中的被检测对象加载至该取放台或将该取放台上的被检测对象加载至该储存柜中，该机械手臂用以使该被检测对象于该取放台、该缓冲台、与各检测台之间移动。
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