[发明专利]气相沉积装置及其加热系统无效
| 申请号： | 201210191941.9 | 申请日： | 2012-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN103484934A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 杨成杰;方政加 | 申请（专利权）人： | 绿种子材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/10 | 分类号： | C30B25/10;C30B28/14 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;常大军 |
| 地址： | 开曼群岛大开*** | 国省代码： | 开曼群岛;KY |
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| 摘要： | 一种气相沉积装置及其加热系统，加热系统包括：一第一加热元件；一第二加热元件，与第一加热元件之间具有一第一距离；以及一隔绝元件，承载第一加热元件，隔绝元件包括至少一第一隔离柱位于第一加热元件与第二加热元件之间；其中，第一加热元件产生形变移动至少一第一隔离柱，避免该第一加热元件与该第二加热元件接触。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 及其 加热 系统 | ||
【主权项】：
一种加热系统，其特征在于，包括：一第一加热元件；一第二加热元件，与该第一加热元件之间具有一第一距离；以及一隔绝元件，承载该第一加热元件，该隔绝元件包括一第一隔离柱位于该第一加热元件与该第二加热元件之间；其中，该第一加热元件产生形变移动该第一隔离柱，避免该第一加热元件与该第二加热元件接触。
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