[发明专利]在物理气相沉积期间支撑工件的方法在审
| 申请号： | 201210193482.8 | 申请日： | 2012-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN102839355A | 公开（公告）日： | 2012-12-26 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂芬·R·伯吉斯 | 申请（专利权）人： | SPTS科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 武晨燕;张颖玲 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本发明涉及在物理气相沉积期间支撑工件的方法以及相关的设备。设置涂有吸热涂层(15)的支撑平面的铝支座(11)。冷却该支座至100℃左右，进行PVD过程以使得在冷却作用下工件的温度在350℃～450℃之间。涂层为惰性和/或超高电压兼容。 | ||
| 搜索关键词： | 物理 沉积 期间 支撑 工件 方法 | ||
【主权项】：
一种在物理气相沉积(PVD)期间支撑工件的方法，所述方法包括：(a)设置具有支撑平面的铝支座，所述支撑平面涂有吸热涂层；(b)冷却所述支座至100℃左右；以及(c)进行PVD过程以使得在冷却作用下所述工件的温度在350℃～450℃之间。
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