[发明专利]含有脂环族环氧基的固化性树脂组合物、其制造方法及其固化物无效
| 申请号： | 201210195831.X | 申请日： | 2012-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN102827323A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 寺西直史;中川泰伸;赤井泰之 | 申请（专利权）人： | 株式会社大赛璐 |
| 主分类号： | C08F220/32 | 分类号： | C08F220/32;C08F220/06;C08F220/18;C08F2/06;G03F7/004;C09D133/14;C09J133/14 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张永新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种固化性树脂组合物，其在提高制备抗蚀剂组合物时的溶解性以及稳定性的同时，使得抗蚀剂成膜时的膜厚均匀性、线宽均匀性、显影时的抗蚀剂膜的密合性等特性得到提高，且使其安全性得以提高。所述固化性树脂组合物包含共聚物和溶剂，所述共聚物含有：(A)含有脂环族环氧基的聚合性不饱和化合物所对应的单体单元、以及(B)含有碱可溶性基团的单体单元，所述溶剂含有占全部溶剂中的30~100质量%的二丙二醇二甲醚。 | ||
| 搜索关键词： | 含有 脂环族环氧基 固化 树脂 组合 制造 方法 及其 | ||
【主权项】：
固化性树脂组合物，其包含共聚物和溶剂，所述共聚物含有(A)含有脂环族环氧基的聚合性不饱和化合物所对应的单体单元、以及(B)含有碱可溶性基团的单体单元，所述溶剂含有占全部溶剂中的30~100质量%的二丙二醇二甲醚。
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