[发明专利]一种碲化镉薄膜制备方法及其使用的装置

摘要

一种碲化镉薄膜制备方法及其使用的装置，包括将单质碲加热气化后形成碲蒸汽、以及将单质镉加热气化后形成镉蒸汽；用携带气体分别运载所述碲蒸汽和所述镉蒸汽并将所述碲蒸汽和镉蒸汽混合均匀得到碲镉混合蒸汽；所述携带气体再将所述碲镉混合蒸汽携带至衬底。本发明以碲、镉单质作为原料，采用碲、镉单质独立蒸发源，通过气相分子混合方法制备碲化镉薄膜的方法。这样不仅降低了碲化镉太阳电池的生产成本，而且也把高纯碲化镉原料制备和碲化镉薄膜制备工艺有机的结合到了一起。

主权项

一种制备碲化镉薄膜的装置，其特征在于：包括用于加热以气化单质碲的第一原料加热腔和用于加热以气化单质镉的第二原料加热腔；所述第一原料加热腔设有用于把所述第一原料加热腔内气化的碲蒸汽和携带气体导出的第一气体导出管；所述第二原料加热腔设有用于把所述第二原料加热腔内气化的镉蒸汽和携带气体导出的第二气体导出管；所述第一气体导出管和第二气体导出管均连通至一气体混合装置；所述气体混合装置的出口朝向一衬底设置。