[发明专利]相位延迟量分布和快轴方位角分布实时测量装置和方法有效
申请号: | 201210199435.4 | 申请日: | 2012-06-15 |
公开(公告)号: | CN102706539A | 公开(公告)日: | 2012-10-03 |
发明(设计)人: | 曾爱军;刘龙海;朱玲琳;黄惠杰 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 张泽纯 |
地址: | 201800 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种用于双折射器件的相位延迟量分布和快轴方位角分布实时测量装置和方法,该装置由准直光源、圆起偏器、衍射分束元件、四分之一波片、检偏器阵列、CCD图像传感器和具有图像采集卡的计算机组成,本发明可以实时测量双折射器件的相位延迟量分布和快轴方位角分布,测量结果不受光源光强波动的影响,而且具有较大的测量范围。 | ||
搜索关键词: | 相位 延迟 分布 方位 角分布 实时 测量 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种相位延迟量分布和快轴方位角分布实时测量装置,其特征在于该装置由准直光源(1)、圆起偏器(2)、衍射分束元件(4)、四分之一波片(5)、检偏器阵列(6)、CCD图像传感器(7)和具有图像采集卡的计算机(8)组成,上述元部件的位置关系如下:所述的检偏器阵列(6)由四个透振方向依次相差45°的第一检偏器(61)、第二检偏器(62)、第三检偏器(63)、第四检偏器(64)组成,与所述的四分之一波片(5)处于同一个子光路中的检偏器为第一检偏器(61),所述的第一检偏器(61)的透振方向与所述的四分之一波片(5)的快轴方向分别成45°或135°,沿所述的准直光源(1)的光束前进方向上,依次是所述的圆起偏器(2)和衍射分束元件(4),该衍射分束元件(4)将入射光束分成四个子光束,其中一个子光束经四分之一波片(5)后被第一检偏器(61)进行检偏,另外三个子光束直接被第二检偏器(62)、第三检偏器(63)和第四检偏器(64)检偏,所述的图像传感器(7)的输出端与所述的计算机(8)的输入端连接,在所述的圆起偏器(2)和偏振分束元件(4)之间设置待测样品(3)的插口。
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